SSB245/20型投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧橡膠氣囊材質(zhì)tanArax的時(shí)效性轉(zhuǎn)變。結(jié)論表明,除開一部分試樣,投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧氣囊材質(zhì)tanOuas在應(yīng)用4年~13年之后，均是降低情況,D后又出現(xiàn)提升發(fā)展趨勢(shì)。此后狀況能夠確定下邊的老化全過程。應(yīng)用4年~13年時(shí)的被動(dòng)式空氣彈簧,由于受到交變應(yīng)力或紫外光所導(dǎo)致的儲(chǔ)熱及其空氣氧化老化產(chǎn)生的影響，從而使得tan.na卜降。但是，通過--定階段之后，因?yàn)榻蛔儜?yīng)力功效，一部分分子鏈斷開,分子結(jié)構(gòu)自主運(yùn)動(dòng)擴(kuò)大,進(jìn)而仗tanAnax提升。這類全過程，如去掉初始階段，又與以朵用材料試片的耐疲憊特點(diǎn)加快老化實(shí)驗(yàn)而進(jìn)行的老化全過程相類似應(yīng)用件在早期的耐疲憊特點(diǎn)實(shí)驗(yàn)中，沒發(fā)現(xiàn)tanAnx有提升發(fā)展趨勢(shì)。投影光刻機(jī)被動(dòng)式空氣彈簧那可稱之為4年里所使用的應(yīng)力標(biāo)準(zhǔn)超出10*次拉申應(yīng)力的前提條件，或者因?yàn)榻蛔儜?yīng)力所引起的儲(chǔ)熱紫外光等空氣氧化老化要素的功效明顯的原因出之上結(jié)論能夠推斷，做為被動(dòng)式空氣彈簧氣襄的老化要素,要以交變應(yīng)力為載體，再用熱、紫外光等空氣氧化老化要素相復(fù)合型。

次之，拉伸實(shí)驗(yàn)中確定了表明老化趨向位置和角度，即上端在①面、②面豎直方向，中間在①面、②面豎直、水平方向，下邊在@面垂古水平方向，全是應(yīng)用16年之后tanAna有明顯提升發(fā)展趨勢(shì)那可覺得主要是因?yàn)榻蛔儜?yīng)力，一部分分子鏈斷開，分子結(jié)構(gòu)自主運(yùn)動(dòng)增人原因。另一方面，抗壓強(qiáng)度降低比較小的上端①面、被動(dòng)式空氣彈簧②面水平方向及下邊②面豎直水平方向，即便大概使用16年后環(huán)節(jié)，則tanO.x表示微增或下跌趨勢(shì)。從一些結(jié)論能夠推斷，從上到下各部位，因?yàn)榉肿渔?的斷開少，被動(dòng)式空氣彈簧依然維持抗壓強(qiáng)度。