臺積電(TSMC)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器主要的功能之一是避震，而這個功能的實(shí)現(xiàn)取決于扭簧內(nèi)部結(jié)構(gòu)外部構(gòu)造的形態(tài)以及所使用的材料。因此，在設(shè)計這個產(chǎn)品時，需要將材料的性能融入結(jié)構(gòu)變化中，其配方設(shè)計也是至關(guān)重要的一個環(huán)節(jié)。
在臺積電(TSMC)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器材料配方設(shè)計中，關(guān)鍵的判斷是操縱重要材料的性能，其次是明確提出橡膠材料的結(jié)構(gòu)力學(xué)性能，研究每個元件的應(yīng)變力所引起的裁切應(yīng)變力以及整個變形構(gòu)造體的變形轉(zhuǎn)變。材料的穩(wěn)定拉伸應(yīng)力代表著氣動隔振器的應(yīng)力和應(yīng)變特點(diǎn)。因此，相對穩(wěn)定的拉伸應(yīng)力被用作材料的機(jī)器性能指標(biāo)。碳黑被用作提高橡膠材料的張力，并降低熱值。拉伸應(yīng)力的降低可減少穩(wěn)定負(fù)載中的動態(tài)變形和形變。
盡管常用生橡膠的種類不同，但臺積電(TSMC)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器每個元件的粘結(jié)層的拉應(yīng)力都需要有效分布。氣動隔振器的氣囊硫化是一個至關(guān)重要的全過程，因此，在制定全部配方時，需要根據(jù)每一層橡膠的升溫情況明確正硫化時間，并盡可能保持長的硫化曲線圖。橡膠材料的硫化水平對于氣動隔振器的整體性能也非常重要，因此應(yīng)該將這一因素考慮進(jìn)去。
通常，臺積電(TSMC)半導(dǎo)體設(shè)備氣動隔振器每個橡膠層的溫度都會被準(zhǔn)確測量，將半成品加工等溫過程的熱歷史時間轉(zhuǎn)換為硫化時間或等效電路硫化時間，以明確半成品加工的反硫化標(biāo)準(zhǔn)和實(shí)際每個橡膠層的硫化水平是否匹配。
如果橡膠被部分硫化，將會導(dǎo)致更高的發(fā)熱量以及橡膠層之間的粘合力增強(qiáng)。如果硫含量過高，橡膠材料的性能就會下降，對氣動隔振器產(chǎn)品的質(zhì)量構(gòu)成危害。此外，由于氣動隔振器的形態(tài)、規(guī)格和用途均不同，因此每個橡膠層的秘方也有所不同。
